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一种精确测量光源平行性的方法及装置，属于光电测量领域，为了解决现有技术无法实现光源平行性的精确测量问题，第一步，将待测光源放置标准光栅的上方，将标准光栅固定件的上面，光电探测器固定在固定件底部，且待测光源、标准光栅和光电探测器同轴设置，光电...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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