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本发明涉及经碰撞谐振能转移到能量吸附气体调整等离子体的VUV发射。公开了在半导体处理室中调整来自等离子体的真空紫外(VUV)辐射的发射的方法。所述方法可包括在处理室中产生等离子体，所述等离子体包括VUV发射物气体和碰撞能量吸收物气体，以及通...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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