下载一种可用于电化学实时PCR的芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:15103215

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本发明公开了一种可用于电化学实时PCR的芯片及其制备方法,在基片上生长绝缘层,然后制作三电极,包括工作电极、辅助电极和参比电极;接着在工作电极表面生长绝缘薄膜,通过光刻工艺和腐蚀工艺将微阵列电极的掩膜版图形转移到绝缘薄膜上;再在工作电极上腐...
该专利属于北京大学;北京普若博升生物科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学;北京普若博升生物科技有限公司授权不得商用。

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