下载微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感方法的技术资料

文档序号:15095903

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本发明涉及激光自混合传感技术领域,现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化,无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成,无法大规模集成开发和应用。针对上述问题,本发明提供一种微...
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