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晶圆背面印胶的封装方法技术
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文档序号:15074997
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本发明公开了晶圆背面印胶的封装方法,包括晶圆,胶层和基板,对整片晶圆执行减薄、刷胶、贴蓝膜、切割、上片、烘烤工艺,其包括:晶圆背面减薄、晶圆背面刷硅胶、晶圆背面贴蓝膜、晶圆切割、上片、烘烤;上述技术方案是将背面刷胶再贴蓝膜的晶圆切割为单颗晶...
该专利属于特科芯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过特科芯有限公司授权不得商用。
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