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一种小型磁控溅射镀镆机，涉及一种镀镆机，所述镀镆机包括上开盖结构的圆柱型真空室、加热旋转样品台、磁力耦合器、磁控溅射靶、涡轮分子泵、挡板阀、隔膜泵、全量程规、冷却水循环系统、机箱；圆柱型真空室上部安有一个上盖，上盖由两根气压杆支撑，由旋纽锁...
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