下载一种表面突起的波导三维模斑转换器及其制作方法的技术资料

文档序号:15060364

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本发明公开了一种波导三维模斑转换器,包含平板形状的衬底、设置在所述衬底上的下包层以及设置在所述下包层上传输、转换光模斑的芯层,其特征在于:所述芯层包括沿光传播方向上宽度变化的楔形;所述楔形表面排布多条条状突起,条状突起与光传播方向之间的夹角...
该专利属于中国科学院半导体研究所;中兴通讯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所;中兴通讯股份有限公司授权不得商用。

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