下载芯片贴装机以及半导体器件的制造方法的技术资料

文档序号:15059954

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本发明提供一种芯片贴装机以及半导体器件的制造方法,用于解决在使贴装头在Y轴方向上以长行程移动的情况下无法提高Z轴驱动轴的精度的问题。芯片贴装机具备:第一驱动轴,其在第一轴向上升降贴装头;以及第二驱动轴,其在水平方向上移动贴装头。第一驱动轴具...
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