下载一种可多维调整的激光光束片状整形装置及方法的技术资料

文档序号:15054932

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本发明公开了一种可多维调整的激光光束片状整形装置,所述激光光束片状整形装置包括光束片状整形透镜组和直线滑台,其中:所述光束片状整形透镜组沿光路方向依次由整形凹柱透镜、整形凸柱透镜、扩束凹柱透镜和聚焦柱透镜组成;所述直线滑台采用滚珠丝杠结构,...
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