下载一种用于对基板进行检测的预警系统及生产设备的技术资料

文档序号:15054351

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本发明公开了一种用于对基板进行检测的预警系统及生产设备,包括:发射单元和控制单元;其中,发射单元提供第一基准光和第二基准光,第一基准光传输至控制单元,第二基准光经过基板的调制生成一束测试光,测试光传输至控制单元;控制单元获取第一基准光的功率...
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