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一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，它包括N个固定电容。上述电容串联，并连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔...
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