下载半导体元件背面铜金属的改良结构的技术资料

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一种半导体元件背面铜金属的改良结构,其中前述改良结构由上而下依序包括有一主动层、一基板、一背面金属种子层、一耐持久高温缓冲层、一背面金属层以及至少一抗氧化金属层,其中该背面金属种子层的材料包含钯以及磷,该耐持久高温缓冲层的材料为镍、银或镍合...
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