下载一种柔性阀压电微泵的技术资料

文档序号:15051048

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本实用新型公开一种柔性阀压电微泵,包括泵腔、压电层、四个柔性阀、入口和出口,所述的泵腔上部设有压电层,所述的泵腔左侧设有入口,所述的泵腔右侧设有出口;所述的泵腔内部设有四个柔性阀;所述的四个柔性阀中的两个设于泵腔的顶部,与所述的泵腔的顶部呈...
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