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本发明涉及一种硅通孔传感器及检测方法、电子装置。硅通孔传感器，包括：硅通孔；至少两个环形振荡器阵列，镜像设置于所述硅通孔的两侧；其中，在远离所述硅通孔的方向上，每个所述环形振荡器阵列至少包括3个并列设置的环形振荡器，其中每个所述环形振荡器中...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。