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一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统技术方案
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文档序号:15046605
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本发明公开了一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统,包括分隔壁精馏塔,分离系统还包括:反歧化固定床,反歧化固定床与分隔壁精馏塔连接,反歧化固定床用于装填催化剂催化进行二氯二氢硅和四氯化硅的反歧化反应,反应得到的产物进入分隔壁精馏塔。本发明中...
该专利属于新特能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。
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