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本发明涉及一种薄膜沉积装置，其包括：沉积腔室，在其内部支撑有基板；分配管，其通过形成于上部的多个喷嘴喷射由用于收容待沉积到所述基板上的沉积材料的多个坩埚汽化的沉积材料；分配管加热器，其被独立设置为面向所述分配管的外表面以加热所述分配管；坩埚...
该专利属于铣益系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过铣益系统有限责任公司授权不得商用。

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