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本实用新型公开了一种光刻机的温度变频调节系统，包括水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室...
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