光刻机的温度变频调节系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种光刻机的温度变频调节系统，包括水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。本实用新型专利技术的光刻机的温度变频调节系统可保证光刻机的光刻精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光机电装备领域，尤其涉及一种光刻机的温度变频调节系统。
技术介绍
平行光光刻机是采用平行光光刻法(又称光刻法)来实现印刷电路板(PCB)成像的设备，其光刻精度(工件台与底片对位精度)决定PCB产品的线宽和线距精度，因而决定电子产品的电路集成度和大小。光刻机主要由精密工件台系统、光学系统、环控系统、机架系统、输送系统等组成。影响平行光光刻机精度的主要因素是精密工件台的传动机构和环境温度的干扰。由于光刻机的平行光系统采用大功率光源，在光刻过程中产生大量的热量，这将引起光刻室内空气温度升高，导致精密工件台结构热变形，严重影响光刻机的光刻精度。因此，对光刻机光刻室内空气的温度进行恒温精确控制具有重要的工程实际意义。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种光刻机的温度变频调节系统，可保证光刻机的光刻精度。为实现上述目的，本技术提供一种光刻机的温度变频调节系统，包括水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻机的温度变频调节系统，其特征在于，包括：水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的温度变频调节系统，其特征在于，包括：水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄建，
申请(专利权)人：志圣科技广州有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44