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表膜、带表膜的光掩模及半导体元件的制造方法技术
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文档序号:14984857
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本发明涉及表膜,其具备:表膜框;张架于表膜框的一个端面(2e)的表膜用膜(3);和附着于表膜框的另一个端面(2f)的非交联型的丙烯酸系粘合剂(10),前述非交联型的丙烯酸系粘合剂(10)中的重均分子量800以下的化合物的含量为18重量%以下...
该专利属于旭化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭化成株式会社授权不得商用。
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