下载一种功率金属氧化物半导体场效应晶体管的技术资料

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本实用新型提供一种功率金属氧化物半导体场效应晶体管,该晶体管包括外延层、体区、栅电极和氧化层,外延层是预先生长的,并在外延层的顶面设有沟槽。体区位于沟槽之间,并向外延层的底面方向延伸至预定位置。栅电极位于沟槽内,且平行于体区的延伸方向,栅电...
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