下载基于CMOS图像传感器的绝对式光栅尺及其测量方法的技术资料

文档序号:14978920

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本发明公开了基于CMOS图像传感器的绝对式光栅尺及其测量方法,该绝对式光栅尺包括光栅尺主体、光学放大系统、CMOS图像传感器、信号处理模块和主控模块,光栅尺主体上设有测量码道和细分码道,光学放大系统用于收集经测量码道和细分码道反射或透射的光...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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