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一种基板表面清洁装置，包括光电传感器、光电传感器放大器、电磁阀、喷气装置、传输滚轮和传输轨道，所述喷气装置，包括气管、喷气口和压缩干燥空气产生装置，所述传输轨道上安装有光电传感器、传动滚轮和喷气口，所述光电传感器通过信号线与光电传感器放大器...
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