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一种ZnO纳米晶薄膜晶体管型紫外探测器的制备方法技术
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下载一种ZnO纳米晶薄膜晶体管型紫外探测器的制备方法的技术资料
文档序号:14945200
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本发明公开了一种ZnO纳米晶薄膜晶体管型紫外探测器的制备方法,该紫外探测器自下而上依次有低阻Si层、SiO2绝缘层、ZnO纳米晶层和Au电极。其制备方法如下:先制备ZnO纳米晶的胶体分散相,然后将胶体分散相旋涂在Si/SiO2的SiO2面上...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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