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电子显微镜制造技术
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文档序号:14944901
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本发明提供一种电子显微镜,提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中,具备:摄影单元,其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像;存储单元,其存储所述映射图像;提取单元,其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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