下载制备具有择优取向生长结构的电镀铜层的方法及其应用的技术资料

文档序号:14932188

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本发明公开了一种制备具有择优取向生长结构的电镀铜层的方法,属于半导体晶圆级封装领域。本发明的具有择优取向生长结构的铜层包括晶圆基底、粘附层、铜籽晶层和电镀铜层,所述电镀铜层具有Z轴择优取向生长结构。本发明利用传统的直流电镀技术采用非染料系整...
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