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降低边缘应力的晶圆级封装方法技术
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下载降低边缘应力的晶圆级封装方法的技术资料
文档序号:14931060
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本发明涉及晶圆级芯片封装领域,涉及一种降低边缘应力的晶圆级封装方法。本发明步骤:步骤1,提供带有功能区、焊盘、晶圆;步骤2,提供盖板,盖板与支撑墙键合在一起;步骤3,利用键合胶将带有支撑墙的盖板与晶圆键合在一起;步骤4,对晶圆第二表面上切割...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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