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一种大直径尺寸SiC籽晶的制备方法技术
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文档序号:14916509
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本发明涉及一种大直径尺寸SiC籽晶的制备方法,它包括:将小直径SiC籽晶进行修整切割;采用密排拼接方式粘结固定在籽晶托上,形成第一层籽晶,在第一层籽晶的小直径SiC籽晶之间的缝隙上方再粘结固定第二层籽晶,使第二层籽晶覆盖第一层籽晶形成的缝隙...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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