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本实用新型涉及一种栅网，用于离子源的离子光学系统，所述栅网设有带栅孔的栅孔区，所述栅网上自栅孔区边缘向外呈辐射状开设有多个热应变槽，且所述热应变槽贯穿所述栅网上下表面。本实用新型还提供了使用该栅网的离子源。本实用新型通过在栅网上开设辐射状的...
该专利属于北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司授权不得商用。

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