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抗蚀剂剥离液组合物、平板显示器基板及其制造方法技术
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文档序号:14908086
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本发明涉及包含(a)化学式1所表示的仲胺、(b)非质子有机溶剂化合物和(c)伯醇化合物的抗蚀剂剥离液组合物,包括利用该抗蚀剂剥离液组合物对平板显示器基板进行清洗的工序的平板显示器基板的制造方法,及由上述制造方法制造的平板显示器基板。化学式1...
该专利属于东友精细化工有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。
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