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本发明公开了一种能提高多孔硅纵向物理结构均匀性的新方法。该方法是在制备多孔硅过程中，在腐蚀液中逐渐添加少量的氢氟酸，以增加氢氟酸在腐蚀液中的浓度。一方面，通过逐渐增加氢氟酸在腐蚀液中的浓度而引起在沿纵向方向上多孔硅的多孔度随腐蚀深度增加而减...
该专利属于湖南文理学院所有，仅供学习研究参考，未经过湖南文理学院授权不得商用。

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