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标准硅工艺下的高响应度光电三极管制造技术
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文档序号:14903472
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标准硅工艺下的高响应度光电三极管,涉及光电三极管。自下而上设有七层,第一层为轻掺杂的P衬底,第二层为P阱和N阱,第三层为金属Al、N+、P+层,第四层为二氧化硅绝缘介质层、第五层为二氧化硅绝缘介质层、第六层为二氧化硅绝缘介质层,第七层为Si...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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