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本公开涉及一种基板放置位置的修正装置、方法和系统，涉及工业制造领域，该装置应用于支撑架，包括：距离传感器组、传输组件和处理单元，距离传感器组包括设置于支撑架面板的第一边缘一侧的至少两个距离传感器，以及设置于支撑架面板的第二边缘一侧的至少一个...
该专利属于东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司授权不得商用。

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