下载声波器件的技术资料

文档序号:14892193

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一种可小型化的声波器件。所述声波器件的某些示例包括:衬底;IDT电极,设置在所述衬底上方;布线电极,设置在所述衬底上方且连接到所述IDT电极;密封体,密封激励空间,所述IDT电极在所述激励空间中激发声波;以及密封墙,设置在所述布线电极上方并...
该专利属于天工滤波方案日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天工滤波方案日本有限公司授权不得商用。

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