下载一种具有高硬度和高减摩性能的纳米涂层及其制备方法的技术资料

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本发明一种具有高硬度和高减摩性能的纳米涂层,在基体上通过多靶磁控溅射方式交替溅射沉积形成CrAlN纳米层和WS2纳米层,靠近基体为CrAlN纳米层,最外侧的一层为WS2纳米层,CrAlN/WS2纳米多层涂层的总厚度2.0‑4.5μm,每一C...
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