下载光刻刻蚀制造微织构摩擦表面的方法的技术资料

文档序号:14876553

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本发明公开了一种通过光刻刻蚀制造微织构摩擦表面的方法,可以显著改善表面摩擦性能;由预热、涂胶、预烘、掩模、曝光、烘焙、显影、硬烘、刻蚀、去胶等工艺组成。本发明的方法无需大型设备、工艺简便、图案易控,在减摩润滑材料等领域有重要的应用价值。...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。

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