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基于零位补偿光学系统检测非球面镜面形的方法属于光学干涉测量技术领域，该方法通过在零位补偿光学系统中引入透射球面波镜头，尽量减少补偿镜和检测误差源数量。同时，将透射球面波镜头的出射面设计为参考面，使透射球面波镜头所有元件均属于共光路部分，大幅...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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