下载曝光机的对位方法的技术资料

文档序号:14865762

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本发明公开一种曝光机的对位方法,包括如下步骤:选取同一对位区中的多个对位标中的任一个作为基准对位标,将除基准对位标以外的其他对位标作为备用对位标;利用所述基准对位标进行对位;以及当所述基准对位标对位失败时,从所述备用对位标中选取一个备用对位...
该专利属于昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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