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一种射频溅射法制备ＢａＣｅＯ↓［３］体系高温质子导体薄膜的方法，属于薄膜制备及应用技术领域。本发明采用磁控溅射法制备ＢａＣｅ↓［１－Ｘ］Ｙ↓［Ｘ］Ｏ↓［３－α］高温质子导体薄膜。即按照按摩尔比１∶１－Ｘ∶Ｘ（Ｘ＝０．０２－０．３）混合ＢａＣ...
该专利属于上海工程技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海工程技术大学授权不得商用。

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