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具有集成挡板的微机电系统压力传感器技术方案
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下载具有集成挡板的微机电系统压力传感器的技术资料
文档序号:14861926
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一种压力传感器系统可感测气体或液体的压力。该系统可包括具有用于气体或液体的入口端口的壳体;该壳体内的压力传感器;以及被设置在入口端口与压力传感器之间的挡板。该挡板可具有被定向成接收进入该入口端口的气体或液体的一个或多个入口;被定向成将接收到...
该专利属于MKS仪器公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器公司授权不得商用。
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