下载用于多晶硅层和衬底区之间降低的寄生电容的完全耗尽区的技术资料

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在具有多晶硅层的电子器件中,可以使用完全耗尽区以降低多晶对衬底的寄生电容。当所述完全耗尽区至少部分地位于所述电子器件下方时,在所述完全耗尽区和所述衬底区之间形成附加寄生电容。所述附加寄生电容与所述电子器件的多晶硅层和所述掺杂区之间的第一寄生...
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