下载多重密封环结构的技术资料

文档序号:14847610

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本发明提供了一种制造半导体器件的方法,所述方法包括提供具有密封环区域和电路区域的基板,形成在密封环区域上方的第一密封环结构,所述第一密封环结构围绕所述电路区域呈封闭环,且具有包含金属层的外部部分(210a)和包含金属层的内部部分(210b)...
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