温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种具有SiV发光的超小晶粒尺寸纳米金刚石薄膜，其制备方法为：采用微波等离子体化学气相沉积方法，在单晶硅衬底上制备具有SiV发光的纳米金刚石薄膜；采用氧等离子体轰击方法，在微波功率600～1000W，气压0.5～6torr，氧气...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。