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提供卡盘工作台，在对正面上形成有多个电极凸点的半导体晶片的正面侧进行吸引保持的情况下，能够防止负压的泄漏而对晶片进行可靠地吸引保持。卡盘工作台对晶片的正面进行吸引而保持该晶片，在该晶片的正面上具有器件区域和围绕该器件区域的外周剩余区域，在该...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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