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微波诱导等离子体离子迁移谱仪制造技术
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文档序号:14833963
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本实用新型公开一种微波诱导等离子体离子迁移谱仪,包括离子源、进样管、漂移管、气路系统、信号放大采集与数据处理系统,离子源为微波诱导等离子体离子源,微波诱导等离子体离子源包括微波功率发生器、微波耦合腔和放电管,微波功率发生器连接微波耦合腔,微...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
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