专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中国科学院微电子研究所
>
基于湿法预释放结构的MEMS红外光源制造技术
>技术资料下载
下载基于湿法预释放结构的MEMS红外光源的技术资料
文档序号:14829856
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开一种基于湿法预释放结构的MEMS红外光源。所述基于湿法预释放结构的MEMS红外光源包括嵌入式空腔的承载衬底及所述承载衬底上的红外光源结构;所述红外光源结构设有支撑层、隔离层、图形化金属电极以及辐射层;所述图形化金属电极沉积在隔...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。