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本发明提供了一种用于面板级扇出表面处理的工艺系统及方法，该工艺系统包括：脱气塔、装卸载单元、载台及其搬运装置、射频蚀刻室以及物理气相沉积室；其中，载台用于承载并固定面板级扇出，装卸载单元用于将经过脱气塔处理后的面板级扇出装载到载台上以及用于...
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