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压印装置、物品的制造方法及供给装置制造方法及图纸
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下载压印装置、物品的制造方法及供给装置的技术资料
文档序号:14821517
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本发明提供一种压印装置、物品的制造方法及供给装置。所述压印装置包括:腔室,其被构造为限定包括处理单元的第一空间,所述处理单元包括被构造为将压印材料排出到基板上的排出单元,并且所述处理单元被构造为通过使用模具进行使所述基板上的压印材料形成图案...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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