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文档序号:14819055
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本发明涉及一种编码器。标尺包括在测量方向上布置的光栅图案。检测头可以相对于标尺在测量方向上移动,并且输出指示图案的检测结果的电信号。运算单元计算检测头相对于标尺的相对位移。检测头使光照射标尺。光接收单元包括在测量方向上布置的光接收元件阵列、...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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