下载用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置的技术资料

文档序号:14808216

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本发明公开了用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置,由等离子体源、机器人、密封部件、氩氟废气处理部件、电气控制系统、底座、抛光工作台、待加工光学零件、氮气进气部件组成;机器人、待加工光学零件和抛光工作台置于底座上,等离子体源位于待加工...
该专利属于长春设备工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过长春设备工艺研究所授权不得商用。

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