下载一种基于驻极体的等离子体密度测量系统及其测量方法的技术资料

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本发明公开了一种基于驻极体的等离子体密度测量系统及其测量方法。本发明的等离子体密度测量系统包括:驻极体传感装置、电位测量装置、传动装置和测量控制装置;其中,驻极体传感装置包括驻极体传感器和驻极体底座,驻极体传感器为薄片状,正表面分布有电荷,...
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